Η προστασία του περιβάλλοντος δίνεται όλο και μεγαλύτερη προσοχή, ειδικά με την αύξηση της ομίχλης.Η μηχανική καθαρισμού δωματίου είναι ένα από τα μέτρα προστασίας του περιβάλλοντος.Πώς να χρησιμοποιήσετε τη μηχανική καθαρού δωματίου για να κάνετε καλή δουλειά στην προστασία του περιβάλλοντος;Ας μιλήσουμε για τον έλεγχο στη μηχανική καθαρού δωματίου.
Έλεγχος θερμοκρασίας και υγρασίας σε καθαρό δωμάτιο
Η θερμοκρασία και η υγρασία των καθαρών χώρων καθορίζονται κυρίως με βάση τις απαιτήσεις της διαδικασίας, αλλά όταν πληρούνται οι απαιτήσεις της διαδικασίας, θα πρέπει να λαμβάνεται υπόψη η ανθρώπινη άνεση.Με τη βελτίωση των απαιτήσεων καθαριότητας του αέρα, υπάρχει μια τάση αυστηρότερων απαιτήσεων για τη θερμοκρασία και την υγρασία στη διαδικασία.
Ως γενική αρχή, λόγω της αυξανόμενης ακρίβειας της επεξεργασίας, οι απαιτήσεις για το εύρος διακύμανσης της θερμοκρασίας γίνονται όλο και μικρότερες.Για παράδειγμα, στη διαδικασία λιθογραφίας και έκθεσης της παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας, η διαφορά στον συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ γκοφρετών γυαλιού και πυριτίου που χρησιμοποιούνται ως υλικά μάσκας γίνεται ολοένα και μικρότερη.
Μια γκοφρέτα πυριτίου με διάμετρο 100 μm προκαλεί γραμμική διαστολή 0,24 μm όταν η θερμοκρασία αυξάνεται κατά 1 βαθμό.Επομένως, είναι απαραίτητη μια σταθερή θερμοκρασία ± 0,1 ℃ και η τιμή υγρασίας είναι γενικά χαμηλή, επειδή μετά την εφίδρωση, το προϊόν θα μολυνθεί, ειδικά σε εργαστήρια ημιαγωγών που φοβούνται το νάτριο.Αυτός ο τύπος εργαστηρίου δεν πρέπει να υπερβαίνει τους 25℃.
Η υπερβολική υγρασία προκαλεί περισσότερα προβλήματα.Όταν η σχετική υγρασία ξεπεράσει το 55%, θα σχηματιστεί συμπύκνωση στο τοίχωμα του σωλήνα νερού ψύξης.Εάν συμβεί σε συσκευές ή κυκλώματα ακριβείας, μπορεί να προκαλέσει διάφορα ατυχήματα.Όταν η σχετική υγρασία είναι 50%, είναι εύκολο να σκουριάσει.Επιπλέον, όταν η υγρασία είναι πολύ υψηλή, η σκόνη που προσκολλάται στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου θα απορροφηθεί χημικά στην επιφάνεια μέσω μορίων νερού στον αέρα, η οποία είναι δύσκολο να αφαιρεθεί.
Όσο μεγαλύτερη είναι η σχετική υγρασία, τόσο πιο δύσκολο είναι να αφαιρεθεί η πρόσφυση.Ωστόσο, όταν η σχετική υγρασία είναι κάτω από 30%, τα σωματίδια απορροφώνται επίσης εύκολα στην επιφάνεια λόγω της δράσης της ηλεκτροστατικής δύναμης και ένας μεγάλος αριθμός συσκευών ημιαγωγών είναι επιρρεπείς σε καταστροφή.Το βέλτιστο εύρος θερμοκρασίας για την παραγωγή γκοφρέτας πυριτίου είναι 35-45%.
Πίεση αέραέλεγχοςσε καθαρό δωμάτιο
Για τους περισσότερους καθαρούς χώρους, προκειμένου να αποφευχθεί η εισβολή εξωτερικής ρύπανσης, είναι απαραίτητο να διατηρείται η εσωτερική πίεση (στατική πίεση) υψηλότερη από την εξωτερική πίεση (στατική πίεση).Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης πρέπει γενικά να συμμορφώνεται με τις ακόλουθες αρχές:
1. Η πίεση σε καθαρούς χώρους πρέπει να είναι μεγαλύτερη από αυτή σε μη καθαρούς χώρους.
2. Η πίεση σε χώρους με υψηλά επίπεδα καθαριότητας θα πρέπει να είναι μεγαλύτερη από αυτή σε παρακείμενους χώρους με χαμηλά επίπεδα καθαριότητας.
3. Οι πόρτες μεταξύ των καθαρών δωματίων πρέπει να ανοίγουν προς δωμάτια με υψηλά επίπεδα καθαριότητας.
Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης εξαρτάται από την ποσότητα φρέσκου αέρα, η οποία θα πρέπει να μπορεί να αντισταθμίσει τη διαρροή αέρα από το διάκενο κάτω από αυτή τη διαφορά πίεσης.Έτσι, η φυσική έννοια της διαφοράς πίεσης είναι η αντίσταση της ροής αέρα διαρροής (ή διείσδυσης) μέσα από διάφορα κενά σε καθαρό δωμάτιο.
Ώρα ανάρτησης: 21 Ιουλίου 2023