Η προστασία του περιβάλλοντος δίδεται όλο και μεγαλύτερη προσοχή, ειδικά με την αύξηση του καιρού της θολότητας. Το Clean Room Engineering είναι ένα από τα μέτρα προστασίας του περιβάλλοντος. Πώς να χρησιμοποιήσετε το Clean Room Engineering για να κάνετε καλή δουλειά στην προστασία του περιβάλλοντος; Ας μιλήσουμε για τον έλεγχο στην καθαρή μηχανική δωματίου.
Έλεγχος θερμοκρασίας και υγρασίας σε καθαρό δωμάτιο
Η θερμοκρασία και η υγρασία των καθαρών χώρων καθορίζονται κυρίως με βάση τις απαιτήσεις της διαδικασίας, αλλά όταν απαιτείται η διεργασία διεργασίας, πρέπει να ληφθεί υπόψη η ανθρώπινη άνεση. Με τη βελτίωση των απαιτήσεων καθαριότητας του αέρα, υπάρχει μια τάση αυστηρότερων απαιτήσεων για τη θερμοκρασία και την υγρασία στη διαδικασία.
Ως γενική αρχή, λόγω της αυξανόμενης ακρίβειας της επεξεργασίας, οι απαιτήσεις για το εύρος διακύμανσης της θερμοκρασίας γίνονται μικρότερες και μικρότερες. Για παράδειγμα, στη διαδικασία λιθογραφίας και έκθεσης της μεγάλης κλίμακας ολοκληρωμένης παραγωγής κυκλώματος, η διαφορά στον συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ γυαλιού και πλακών πυριτίου που χρησιμοποιούνται ως υλικά μάσκας γίνεται όλο και πιο μικρή.
Ένα δίσκο πυριτίου με διάμετρο 100 μm προκαλεί γραμμική επέκταση 0,24 μm όταν η θερμοκρασία αυξάνεται κατά 1 βαθμό. Επομένως, είναι απαραίτητη μια σταθερή θερμοκρασία ± 0,1 ℃ και η τιμή υγρασίας είναι γενικά χαμηλή επειδή μετά την εφίδρωση, το προϊόν θα μολυνθεί, ειδικά σε εργαστήρια ημιαγωγών που φοβούνται το νάτριο. Αυτός ο τύπος εργαστηρίου δεν πρέπει να υπερβαίνει τα 25 ℃.
Η υπερβολική υγρασία προκαλεί περισσότερα προβλήματα. Όταν η σχετική υγρασία υπερβαίνει το 55%, η συμπύκνωση θα σχηματιστεί στο τοίχωμα του σωλήνα ψύξης. Εάν συμβαίνει σε συσκευές ακριβείας ή κυκλώματα, μπορεί να προκαλέσει διάφορα ατυχήματα. Όταν η σχετική υγρασία είναι 50%, είναι εύκολο να σκουριάσει. Επιπλέον, όταν η υγρασία είναι υπερβολικά υψηλή, η σκόνη που προσκολλάται στην επιφάνεια του δισκίου πυριτίου θα προσροφηθεί χημικά στην επιφάνεια μέσω των μορίων του νερού στον αέρα, πράγμα που είναι δύσκολο να αφαιρεθεί.
Όσο υψηλότερη είναι η σχετική υγρασία, τόσο πιο δύσκολο είναι να απομακρυνθεί η προσκόλληση. Ωστόσο, όταν η σχετική υγρασία είναι κάτω από 30%, τα σωματίδια προσροφούνται εύκολα στην επιφάνεια λόγω της δράσης της ηλεκτροστατικής δύναμης και ένας μεγάλος αριθμός συσκευών ημιαγωγών είναι επιρρεπείς σε διάσπαση. Η βέλτιστη περιοχή θερμοκρασίας για την παραγωγή πλακιδίων πυριτίου είναι 35-45%.
Πίεση αέραέλεγχοςσε καθαρό δωμάτιο
Για τους περισσότερους καθαρούς χώρους, προκειμένου να αποφευχθεί η εισβολή της εξωτερικής ρύπανσης, είναι απαραίτητο να διατηρηθεί η εσωτερική πίεση (στατική πίεση) υψηλότερη από την εξωτερική πίεση (στατική πίεση). Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης θα πρέπει γενικά να συμμορφώνεται με τις ακόλουθες αρχές:
1. Η πίεση σε καθαρούς χώρους πρέπει να είναι υψηλότερη από εκείνη των μη καθαρών χώρων.
2. Η πίεση σε διαστήματα με υψηλά επίπεδα καθαριότητας πρέπει να είναι υψηλότερη από εκείνη των γειτονικών χώρων με χαμηλά επίπεδα καθαριότητας.
3. Οι πόρτες μεταξύ καθαρών δωματίων θα πρέπει να ανοίγουν προς τα δωμάτια με υψηλά επίπεδα καθαριότητας.
Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης εξαρτάται από την ποσότητα του καθαρού αέρα, η οποία θα πρέπει να είναι σε θέση να αντισταθμίσει τη διαρροή αέρα από το κενό κάτω από αυτή τη διαφορά πίεσης. Έτσι, η φυσική σημασία της διαφοράς πίεσης είναι η αντίσταση της ροής αέρα διαρροής (ή διείσδυσης) μέσω διαφόρων κενών σε καθαρό δωμάτιο.
Χρόνος δημοσίευσης: Ιουλ-21-2023