Δίνεται ολοένα και μεγαλύτερη προσοχή στην προστασία του περιβάλλοντος, ειδικά με την αύξηση της ομίχλης. Η μηχανική καθαρών χώρων είναι ένα από τα μέτρα προστασίας του περιβάλλοντος. Πώς να χρησιμοποιήσετε τη μηχανική καθαρών χώρων για να κάνετε καλή δουλειά στην προστασία του περιβάλλοντος; Ας μιλήσουμε για τον έλεγχο στη μηχανική καθαρών χώρων.
Έλεγχος θερμοκρασίας και υγρασίας σε καθαρό δωμάτιο
Η θερμοκρασία και η υγρασία των καθαρών χώρων καθορίζονται κυρίως με βάση τις απαιτήσεις της διεργασίας, αλλά κατά την εκπλήρωση των απαιτήσεων της διεργασίας, θα πρέπει να λαμβάνεται υπόψη η ανθρώπινη άνεση. Με τη βελτίωση των απαιτήσεων καθαριότητας του αέρα, υπάρχει μια τάση αυστηρότερων απαιτήσεων για τη θερμοκρασία και την υγρασία κατά τη διεργασία.
Ως γενική αρχή, λόγω της αυξανόμενης ακρίβειας της επεξεργασίας, οι απαιτήσεις για το εύρος διακύμανσης της θερμοκρασίας γίνονται όλο και μικρότερες. Για παράδειγμα, στη διαδικασία λιθογραφίας και έκθεσης της παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας, η διαφορά στον συντελεστή θερμικής διαστολής μεταξύ των πλακιδίων γυαλιού και πυριτίου που χρησιμοποιούνται ως υλικά μάσκας γίνεται ολοένα και μικρότερη.
Ένα πλακίδιο πυριτίου με διάμετρο 100 μm προκαλεί γραμμική διαστολή 0,24 μm όταν η θερμοκρασία αυξάνεται κατά 1 βαθμό. Επομένως, είναι απαραίτητη μια σταθερή θερμοκρασία ± 0,1 ℃ και η τιμή υγρασίας είναι γενικά χαμηλή επειδή μετά την εφίδρωση, το προϊόν θα μολυνθεί, ειδικά σε εργαστήρια ημιαγωγών που φοβούνται το νάτριο. Αυτός ο τύπος εργαστηρίου δεν πρέπει να υπερβαίνει τους 25℃.
Η υπερβολική υγρασία προκαλεί περισσότερα προβλήματα. Όταν η σχετική υγρασία υπερβαίνει το 55%, θα σχηματιστεί συμπύκνωση στο τοίχωμα του σωλήνα νερού ψύξης. Εάν συμβεί σε συσκευές ή κυκλώματα ακριβείας, μπορεί να προκαλέσει διάφορα ατυχήματα. Όταν η σχετική υγρασία είναι 50%, είναι εύκολο να σκουριάσει. Επιπλέον, όταν η υγρασία είναι πολύ υψηλή, η σκόνη που προσκολλάται στην επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου θα προσροφηθεί χημικά στην επιφάνεια μέσω μορίων νερού στον αέρα, κάτι που είναι δύσκολο να αφαιρεθεί.
Όσο υψηλότερη είναι η σχετική υγρασία, τόσο πιο δύσκολο είναι να αφαιρεθεί η πρόσφυση. Ωστόσο, όταν η σχετική υγρασία είναι κάτω από 30%, τα σωματίδια προσροφώνται εύκολα στην επιφάνεια λόγω της δράσης της ηλεκτροστατικής δύναμης και ένας μεγάλος αριθμός ημιαγωγικών συσκευών είναι επιρρεπής σε διάσπαση. Το βέλτιστο εύρος θερμοκρασίας για την παραγωγή πλακιδίων πυριτίου είναι 35-45%.
Πίεση αέραέλεγχοςσε καθαρό δωμάτιο
Για τους περισσότερους καθαρούς χώρους, προκειμένου να αποτραπεί η εισβολή εξωτερικής ρύπανσης, είναι απαραίτητο να διατηρείται η εσωτερική πίεση (στατική πίεση) υψηλότερη από την εξωτερική πίεση (στατική πίεση). Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης θα πρέπει γενικά να συμμορφώνεται με τις ακόλουθες αρχές:
1. Η πίεση σε καθαρούς χώρους θα πρέπει να είναι υψηλότερη από αυτήν σε μη καθαρούς χώρους.
2. Η πίεση σε χώρους με υψηλά επίπεδα καθαριότητας θα πρέπει να είναι υψηλότερη από αυτήν σε παρακείμενους χώρους με χαμηλά επίπεδα καθαριότητας.
3. Οι πόρτες μεταξύ των καθαρών δωματίων θα πρέπει να ανοίγουν προς τα δωμάτια με υψηλά επίπεδα καθαριότητας.
Η διατήρηση της διαφοράς πίεσης εξαρτάται από την ποσότητα του φρέσκου αέρα, η οποία θα πρέπει να είναι σε θέση να αντισταθμίσει τη διαρροή αέρα από το κενό υπό αυτήν τη διαφορά πίεσης. Έτσι, η φυσική έννοια της διαφοράς πίεσης είναι η αντίσταση της ροής του αέρα διαρροής (ή διείσδυσης) μέσω διαφόρων κενών σε καθαρό χώρο.
Ώρα δημοσίευσης: 21 Ιουλίου 2023