Εκτός από τον αυστηρό έλεγχο των σωματιδίων, το ηλεκτρονικό καθαρό δωμάτιο που αντιπροσωπεύεται από εργαστήρια παραγωγής τσιπ, εργαστήρια ολοκληρωμένων κυκλωμάτων χωρίς σκόνη και εργαστήρια κατασκευής δίσκων έχουν επίσης αυστηρότερες απαιτήσεις για έλεγχο θερμοκρασίας και υγρασίας, φωτισμό και μικροσόκ. Καταργήστε αυστηρά την επίδραση του στατικού ηλεκτρισμού στα προϊόντα παραγωγής, έτσι ώστε το περιβάλλον να μπορεί να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής ηλεκτρονικών προϊόντων σε ένα καθαρό περιβάλλον.
Η θερμοκρασία και η υγρασία του ηλεκτρονικού καθαρού δωματίου πρέπει να προσδιορίζονται σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής. Όταν δεν υπάρχουν συγκεκριμένες απαιτήσεις για τη διαδικασία παραγωγής, η θερμοκρασία μπορεί να είναι 20-26°C και η σχετική υγρασία είναι 30%-70%. Η θερμοκρασία του καθαρού δωματίου προσωπικού και του καθιστικού μπορεί να είναι 16-28℃. Σύμφωνα με το κινεζικό εθνικό πρότυπο GB-50073, το οποίο είναι σύμφωνο με τα διεθνή πρότυπα ISO, το επίπεδο καθαριότητας αυτού του τύπου καθαρού δωματίου είναι 1-9. Μεταξύ αυτών, κατηγορία 1-5, το μοτίβο ροής αέρα είναι ροή μονής κατεύθυνσης ή μικτή ροή. Το μοτίβο ροής αέρα κατηγορίας 6 είναι μη μονοκατευθυντική ροή και η αλλαγή αέρα είναι 50-60 φορές/ώρα. Ο τύπος ροής αέρα κατηγορίας 7 είναι μη μονοκατευθυντική ροή και η αλλαγή αέρα είναι 15-25 φορές/ώρα. Ο τύπος ροής αέρα κατηγορίας 8-9 είναι μη μονοκατευθυντική ροή, η αλλαγή αέρα είναι 10-15 φορές/ώρα.
Σύμφωνα με τις τρέχουσες προδιαγραφές, το επίπεδο θορύβου στο ηλεκτρονικό καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 10.000 δεν πρέπει να είναι μεγαλύτερο από 65dB(A).
1. Ο πλήρης λόγος του καθαρού δωματίου κατακόρυφης ροής στο ηλεκτρονικό καθαρό δωμάτιο δεν πρέπει να είναι μικρότερος από 60%, και ο καθαρός χώρος οριζόντιας μονής κατεύθυνσης ροής δεν πρέπει να είναι μικρότερος από 40%, διαφορετικά θα είναι μερική μονόδρομη ροή.
2. Η διαφορά στατικής πίεσης μεταξύ του ηλεκτρονικού καθαρού δωματίου και του εξωτερικού χώρου δεν πρέπει να είναι μικρότερη από 10 Pa και η διαφορά στατικής πίεσης μεταξύ καθαρών περιοχών και μη καθαρών περιοχών με διαφορετική καθαρότητα αέρα δεν πρέπει να είναι μικρότερη από 5 Pa.
3. Η ποσότητα καθαρού αέρα σε ένα ηλεκτρονικό καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 10000 θα πρέπει να λαμβάνει την αξία των παρακάτω δύο στοιχείων.
4. Αντισταθμίστε το άθροισμα του όγκου του αέρα εξαγωγής εσωτερικού χώρου και του όγκου φρέσκου αέρα που απαιτείται για τη διατήρηση της τιμής θετικής πίεσης εσωτερικού χώρου.
5. Βεβαιωθείτε ότι η ποσότητα φρέσκου αέρα που παρέχεται στο καθαρό δωμάτιο ανά άτομο ανά ώρα δεν είναι μικρότερη από 40 τετραγωνικά μέτρα.
Ώρα δημοσίευσης: Απρ-08-2024